成果转化 成果转化

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     近年来,随着国家创新驱动战略的号召和政策,加强科研机构成果转化的在科学院光电所微电子装备研究室研制的系列光刻机、工件台、微纳结构检测、生物芯片仪器等产品可以广泛用于:集成电路、分立元件、光电器件(如LED)、MEMS、微光学元件、生物芯片、材料研发、声表器件、传感器(如应变片、光栅、码盘、红外探测器等)及平板显示器,从2000年开始销售,已经销售近600台套(其中出口美国、新加坡、越南、朝鲜等31台),目前占据国内最大市场份额,产品深受国内外用户欢迎,国内用户有多家重点大学、科研机构及企业。

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