产品中心 产品中心

回到完整页面

URE-2000S/A型紫外光刻机产品名称:URE-2000S/A型紫外光刻机

主要技术指标:
  曝光面积:150mm×150mm
  分辨力:1μm(胶厚1.5 μm的正胶)
  对准精度:±3μm(双面)
  最大胶厚:500μm(SU8胶)
  掩模尺寸:3inch、4 inch、5 inch、7 inch
  样片尺寸:直径Ф30mm--Ф150mm 厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
  照明均匀性:±3.5%Ф100mm) ±5.5%(Ф150mm)
  汞灯功率:1000W(直流)
  掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技术特点:
该机采用国内首创的CCD图像底面对准技术,单曝光头正面曝光实现双面对准的总体设计技术。采用新颖的高精度、多自由度掩模—样片精密对准工件台结构设计,掩模—样片对准过程直观,套刻对准速度快、精度高。掩模板与样片的放置采用推拉式基准平板、真空吸附式,操作方便。
 
更多产品:
光刻机:
生物芯片检测产品:
工件台系列产品: