团队带头人 团队带头人

最小化 最大化

    胡松,研究员,博士生导师。1988年在光电所参加工作,2006年获得工学博士学位。微电子领域国家级专家,四川省学术带头人后备人选,所参与课题曾获中科院科技进步一等奖、二等奖、中科院科技进步一等奖等多项荣誉,个人曾获得国务院政府津贴(国家级,2015) 、全国半导体设备和材料标准化技术委员会,标准化工作优秀个人(其他级,2014 )、四川省有突出贡献优秀专家(省级,2010 )等奖项;2005年,入选"西部之光"人才计划;现任中国科学院光电技术研究所微电子装备和生物芯片仪器总体研究室主任。研究领域:微细加工装备整机及关键技术研究。发明了多项专利成果和许多学术论文,并以第二作者身份发表专著《光学投影曝光微纳加工技术,Optical projection lithography micromachining technology》。先后指导多名博硕士研究生毕业,为微细加工领域培养了一大批人才。

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最小化 最大化

        中科院光电所从1978年开始微细加工装备研究,一直是我国从事微细加工装备国家主要方面军,先后承担微电子光刻装备领域"六五"、"七五"、"八五"、"九五"、"十五"、"十一五"、"十二五"国家科技攻关、中科院重大项目、国家"863"项目,国家自然科学基金以及多项国家重大科技专项等100多项,获得省部级以上科技进步奖20余项,获得专利400多项。

         曾经完成我国第一台接近接触光刻机、第一台g线投影光刻机、第一台i线投影光刻机、第一台X射线投影光刻机、无掩模数字光刻机、第一台底面对准双面光刻机。同时也是国内首家完成单次成像面积达650mmX650mm超大面积专用光刻机的厂家。近期又开发成功纳米压印光刻机、中紫外和深紫外接近接触光刻机。这些产品具有完全自主知识产权。

        近年来,加强成果转化,所研制的系列光刻机、工件台、微纳结构检测、生物芯片仪器等产品可以广泛用于:集成电路、分立元件、光电器件(如LED)、MEMS、微光学元件、生物芯片、材料研发、声表器件、传感器(如应变片、光栅、码盘、红外探测器等)及平板显示器,从2000年开始销售,已经销售近600台套(其中出口美国、新加坡、越南、朝鲜等31台),目前占据国内最大市场份额,产品深受国内外用户欢迎,国内大部分的重点大学均有我们产品,其中北京大学、清华大学、中国科大、南京大学、浙江大学、西安交大、西南交大、上海交大、同济大学、中山大学、南开大学、西北工大、哈尔滨工大、四川大学、电子科大、东南大学、国防科大、湖南大学等均购买过多台,国外新加坡国立大学、美国西北大学也是我们用户。很多象美国通用电器、天马集团、京东方、中兴通讯、广东风华、苏大维格等知名公司也是我们用户。中科院物理所、化学所、高能所、电工所、上海技物所、长光所、长春应化所、西光所、硅酸盐所、兰州近代物理所、上海应用物理所、苏州纳米所、深圳先进技术研究院、核九院、兵器211和209、电子9所和41所、航天九院13所和四院44所等广泛采用。产品2007年获全国创新技术与产品称号纳米压印光刻机于2015年再次获全国创新技术与产品称号,产品无论技术指标、性价比、外观、模块化、售后服务相对于同行优势明显。光电所研制的光刻机不仅有明显技术和性能优势、外观精致、售后服务十分到位、在技术性能相当的情况下也有价格优势,更重要的是品牌优势。 我们光刻机既有ISO认证又有欧盟CE认证,我们正在起草光刻机国家标准。